产品中心
Product Center自动椭圆偏振测厚仪
product
产品分类article
相关文章品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工 |
---|
自动椭圆偏振测厚仪 型号:TPY-2
自动椭圆偏振测厚仪
仪器介绍
采用消光法自动控制,自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
规格参数
测量范围薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量厚度**小示值(nm)≤1
偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角0.014°/步
测量膜厚(nm)±1
折射率重复性精度±0.01
度盘刻度每格1度
仪器测量精度(nm)±0.5(薄膜厚度在10-100nm时)
入射角调节范围20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm)632.8
光学中心高(mm)80
允许样品尺寸(mm)φ10-φ140(或任意形状),厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*320
主机重量(kg)28
仪器测量精度(nm)±0.5(薄膜厚度在10-100nm时)
入射角调节范围20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm)632.8
光学中心高(mm)80
允许样品尺寸(mm)φ10-φ140(或任意形状),厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*320
主机重量(kg)28 配置表
型号 | 名称 | 数量 | |
基本配置 | TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪主机 | 1台 |
TPY-2 | 主机电控箱 | 1套 | |
二氧化硅膜样片 | 1片 | ||
TPY-2 | 椭圆偏振测厚仪**用软件 | 1套 | |
需另配 | 计算机及打印机 | 1套 |